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高精度傳感器就是指測(cè)量觀測(cè)結(jié)果、計(jì)算值或估計(jì)值與真值(或被認(rèn)為是真值)之間的接近程度很高,可以很真實(shí)的還原物體的本質(zhì)的高精度傳感器。
目前常用的高精度傳感器是激光傳感器,其精度主要取決于光的單色性的好壞。激光是理想的光源,它比以往的單色光源(氪-86燈)還純10萬(wàn)倍。因此激光測(cè)長(zhǎng)的量程大、精度高。由光學(xué)原理可知單色光的可測(cè)長(zhǎng)度 L與波長(zhǎng)λ和譜線寬度δ之間的關(guān)系是L=λ/δ。用氪-86燈可測(cè)長(zhǎng)度為38.5厘米,對(duì)于較長(zhǎng)物體就需分段測(cè)量而使精度降低。若用氦氖氣體激光器,則可測(cè)幾十公里。一般測(cè)量數(shù)米之內(nèi)的長(zhǎng)度,其精度可達(dá)0.1微米。比如說(shuō)ZLDS10X。以下介紹兩種高精度位移傳感器的特征:
ZLDS100R-4-39傳感器可用于鏡面和玻璃的表面測(cè)量;
頻率響應(yīng):2K、5K、8K、9.4K;
針對(duì)串口,提供了運(yùn)行應(yīng)用的DLL開(kāi)發(fā)庫(kù),方便用戶開(kāi)發(fā)應(yīng)用軟件;
支持特殊量程(如遠(yuǎn)距離起始700mm小量程300mm等);
分辨率0.01%,線性度0.1%;
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